1982
1982

Gründung Fraunhofer IMS

Das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS in Duisburg wird gegründet.

Aus der Abteilung für Mikrostrukturtechnik des Fraunhofer-Instituts für Festkörpertechnologie IFT entsteht das Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik in Berlin, das im Jahr 1994 als Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT nach Itzehoe verlagert wird.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT