1998
1998

Joseph-von-Fraunhofer-Preise

Für herausragende wissenschaftliche Leistungen zur anwendungsnahen Lösung technischer und wissenschaftlicher Probleme vergab die Fraunhofer-Gesellschaft im Rahmen ihrer Jahrestagung 1998 in Darmstadt folgende Fraunhofer-Preise:

Preisträger des Joseph-von-Fraunhofer-Preises:

  • Dipl.-Ing. Wolfgang Doleschal, Dipl.-Ing. Wolfram Kluge, Prof. Dr. Heinz Kück
  • vom Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen IMS in Dresden für die Entwicklung eines neuartigen Verfahrens zur maskenlosen optischen Direktbelichtung von Halbleiterbauelementen. Damit kann man ASICs auch in kleinen Stückzahlen wirtschaftlich produzieren und dabei von der Entwicklung direkt in die Produktion gehen.

  • Dr.-Ing. Friedhelm Heinrich
  • vom Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT in Itzehoe
    für die Entwicklung eines Mehrkanalprozessormonitors zur Analyse und Kontrolle von plasmagestützten Abscheidungs- und Trockenätzverfahren. Es wird ebenfalls in der Halbleiterfertigung zur Abscheidung dünner Schichten verwendet. Im Gegensatz zu bisherigen Verfahren, die externe Lichtquellen zur interferometrischen Ratenmessung einsetzen, wird hierbei vom Prozessplasma emittiertes Licht für die Interferometrie benutzt.

  • Dr. rer. nat. habil. Herrmann Mai, Dipl.-Phys. Reiner Dietsch, Dipl.-Phys. Thomas Holz
  • vom Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS in Dresden
    für ihre Arbeiten zur Entwicklung und industriellen Umsetzung der Herstellung von Ultrapräzisionsröntgenspiegeln durch konsequente Nutzung von Nanotechnologie und Puls-Laser-Technik. Damit lassen sich für die Röntgenanalytik neue industrielle Einsatzfelder bis hin zur Prozesskontrolle und Optimierung industrieller Großprozesse erschließen.

  • Dr. rer. nat. Klaus Rose
  • vom Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC in Würzburg für die Entwicklung eines Verfahrens zur Herstellung ultraviolett-härtbarer Schutzschichten für Plexiglaslinsen, die auf ORMOCERen aufbauen. Damit erzeugt man kratzfeste, haltbare und optisch klare Beschichtungen.

  • Dipl.-Ing. Markoto Sajidman
  • vom Fraunhofer-Institut für Informations- und Datenverarbeitung IITB in Karlsruhe für die Entwicklung eines neuen Fuzzy-Konzepts zur Regelung komplexer rheologischer Produktionsprozesse. Es dient dazu, Glasrohre für die Glasfaserproduktion mit hoher Präzision herzustellen und so die Qualität der späteren Glasfasern hinsichtlich Maßgenauigkeit, Oberflächengüte und Materialreinheit vorauszubestimmen.

  • Dipl.-Phys. Wolfgang Funk und Dr. Jian Zhao
  • vom Fraunhofer-Institut für Graphische Datenverarbeitung IGD in Darmstadt für die Entwicklung eines Systems zum Copyright-Schutz mit digitalen Wasserzeichen. Damit gelingt es, die Urheberschaft digitaler Daten festzustellen. Dieses Verfahren ist für Broadcasting-Dienste, Digital-TV, Video-on-Demand oder Pay-TV einfach und kostengünstig einsetzbar.